因氦气的分子非常小，可侦测出非常小之漏点，如果说保压测试是测大漏，氦测漏则是测小漏，在庄达人所著的VLSI制造技术一书中提到（气体管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送气）如此才不会造成危险。