管道颗粒度检测

a.测试目的和标准

对高纯气体输送系统微粒浓度的检测

b.测试仪器

1cf尘埃粒子计数器（0.1um）

c.测试前准备

(1)在图纸上标出微粒测试的管路, 并将取样点和吹扫气体导入点在图上标出。

(2)将经过过滤的纯净气体接入测试管路中, 调节流量, 确保流量不超过过滤器的额定流量。

(3)确保待测系统中的阀门和调压阀处在开启位置。

e.测试方法

（1）检查系统内的气体流速, 确保系统流量符合微粒测试的最小的速度要求。

(2)使用管径至少是1/4” 的不锈钢EP管材和微粒仪相连。选取各系统的最不利的用气点（即系统内管路最长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气点进行抽样测试。

用尘埃粒子计数器连接气体管道采样。仪器布置示意图如下：

尘埃粒子计数器进行在线监测测量，当观察到读数满足要求并稳定一段时间之后，即停止测试。尘埃粒子测量在连续十个周期（1min为一个周期）合格之后停止测量。

(3)持续抽样直到系统达到验收标准。

测试完成

（1）把粒子计数器从系统中移走,然后降低系统的流量。

（2）在测试的完成后应保持系统或组件在正压下或在吹扫状态中。

（3）在微粒测试成功完成之后通知业主质量管理员。

测试失败：经过测试,如果系统达不到验收标准, 执行以下步骤来找出并解决问题。

（1）检查入口过滤器

（2）把粒子计数器直接连接在已过滤过的气源取样管路中。如果微粒计数仪在20 分钟内达到零.说明过滤器功能正常, 间歇性吹扫管路系统,重新测量直到系统到达验收标准。

g.具体测试步骤

PN2（10）、Par（5）、PHe（1）设备接头共同串联，一次完成颗粒测试。

NH3（5）、SiH4（5）、1% PH3/H2（5）、NF3（5）、PH2（5）针对不同的气体不同管道单独颗粒测试；